0.4-1.1 <Ω·cm>
电阻率
≤16 <ppma>
氧含量
≤1 <ppma>
碳含量
≥70 <µs>
少子寿命
资料机能
项目
规格
检测步骤
成长方式
直拉法
--
结晶性
单晶
--
导电类型
P型
PN测试仪
尺寸
M10：：182.2×182.2 φ247 mm
G12：：210×210 φ295 mm
硅片分选机
厚度
M10：：90-160 ?m
G12：：90-160 ?m
硅片分选机
| 项目 | 规格 | 检测步骤 |
|---|---|---|
| 成长方式 | 直拉法 | -- |
| 结晶性 | 单晶 | -- |
| 导电类型 | P型 | PN测试仪 |
| 尺寸 | M10：：182.2×182.2 φ247 mm G12：：210×210 φ295 mm |
硅片分选机 |
| 厚度 | M10：：90-160 ?m G12：：90-160 ?m |
硅片分选机 |
电机能
项目
规格
检测步骤
电阻率
0.4-1.1 <Ω·cm>
硅片分选机
少子寿命
≥70<µs>
少子寿命测试仪BCT-400
氧含量
≤16<ppma>
傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量
≤1<ppma>
傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F123-91)
| 项目 | 规格 | 检测步骤 |
|---|---|---|
| 电阻率 | 0.4-1.1 <Ω·cm> | 硅片分选机 |
| 少子寿命 | ≥70 | 少子寿命测试仪BCT-400 |
| 氧含量 | ≤16 |
傅里叶变换红外光谱仪 FTIR (ASTM F121-83) |
| 碳含量 | ≤1 |
傅里叶变换红外光谱仪 FTIR (ASTM F123-91) |
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